Europäische Gesellschaft für Leistungshalbleiter mbH & Co KG
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 GERS Tester
Eupec fertigt IGBT’s (Insulated Gate
Bipolar Transistor), die zum Schalten von Spannungen >1000V bei Strömen von
mehreren hundert Ampere in der Bahntechnik Einsatz finden. Zur Verbesserung der
Qualität und Ausbeute in der IGBTHerstellung entwickelte SYS TEC im Auftrag von
eupec ein Testequipment, den GERS-Tester, für den Fertigungsprozess.
Mit
diesem Testgerät erfolgt eine Gate-Emitter-Prüfung an IGBT’s. Der Steuerkreis
eines funktionstüchtigen IGBT’s ist durch eine Kapazität gekennzeichnet. Die
Gate-Emitter-Strecke ist bei defekten Steuerkreisen in der Regel
kurzgeschlossen, jedoch müssen auch offene Gate-Emitter-Strecken erkannt werden.
Darum wird mit Hilfe eines Mikrocontrollers die Ladekurve der Gates ausgewertet.
Die Kapazität der Prüflinge liegt zwischen 0,5 und 300nF. Dafür werden jeweils
Punkte aus der Ladekurve der IGBT’s aufgezeichnet und mit vorgegebenen Werten
verglichen.
Die Peakströme beim entladen der Kapazität liegen im
mA-Bereich. Die Leckströme bei aufgeladener Kapazität liegen bei wenigen nA. Das
Testgerät ist in der Lage diese niedrigen Stromwerte zu erfassen. Außerdem
befinden sich vor den Gates Substratwiderstände, die das Schaltverhalten der
IGBT’s beeinflussen. Auch diese werden durch eine Messung auf ihre Funktion
geprüft. Mit einem Testaufbau ist die Bewertung von bis zu 10 Substraten
möglich. Das Testgerät kann neben der manuellen Bedienung auch in einem
Remote-Modus über RS232 von einem PC aus bedient werden. Die Testergebnisse
zeigt ein LCD-Display an. Via RS232 Schnittstelle erfolgt die Datenübertragung
zum PC.
Die Testgeräte wurden in Kleinserien bei SYS TEC gefertigt.
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